太陽(yáng)電池制造是產(chǎn)業(yè)中最重要的一環(huán)，對(duì)于太陽(yáng)電池制造商來(lái)說(shuō)，增效降本始終是其追求的目標(biāo)。如何從技術(shù)角度提高太陽(yáng)電池轉(zhuǎn)換效率，是在電池生產(chǎn)中不斷探求解決方案的過(guò)程。

當(dāng)前，PERC太陽(yáng)電池量產(chǎn)轉(zhuǎn)換效率已達(dá)到21.5%，主要得益于其背表面優(yōu)異的鈍化效果（氧化鋁或氧化硅薄膜等）。對(duì)于其下一步提效方向,即降低正表面復(fù)合速率，其中SE結(jié)構(gòu)（Selective Emitter）是達(dá)到此效果的重要技術(shù)。目前，實(shí)現(xiàn)SE結(jié)構(gòu)的技術(shù)手段包括: 掩膜法、印刷磷源法、激光方式、硅墨技術(shù)、反蝕法等。對(duì)于PERC電池產(chǎn)線而言，激光PSG摻雜技術(shù)工藝過(guò)程最為簡(jiǎn)單，工藝流程中只需增加激光摻雜一個(gè)步驟；從設(shè)備上說(shuō)，也只需增加摻雜用激光設(shè)備即可，與常規(guī)產(chǎn)線兼容性強(qiáng)，是行業(yè)研究熱點(diǎn)。因此，PERC太陽(yáng)電池疊加激光SE技術(shù)，成為當(dāng)下各家光伏大廠提效的主要手段。

激光摻雜技術(shù)原理：

激光摻雜技術(shù)是在金屬柵線（電極）與硅片接觸部分進(jìn)行重?fù)诫s，而電極以外位置保持輕摻雜（低濃度摻雜）。通過(guò)熱擴(kuò)散方式，在硅片表面進(jìn)行預(yù)擴(kuò)散，形成輕摻雜；同時(shí)表面PSG作為局部激光重?fù)诫s源，通過(guò)激光局部熱效應(yīng)，PSG中磷原子二次快速擴(kuò)散至硅片內(nèi)部，形成局部重?fù)诫s區(qū)。配合激光高精度圖形化，可實(shí)現(xiàn)與后續(xù)絲網(wǎng)印刷完美套印效果。

激光摻雜示意圖（圖片來(lái)源于網(wǎng)絡(luò)）

激光局部摻雜即SE技術(shù)，主要有以下優(yōu)勢(shì)：

1）降低太陽(yáng)電池串聯(lián)電阻，提升FF；

2）減少表面復(fù)合，提高表面鈍化效果；

3）表面低濃度擴(kuò)散，提高了電池短波響應(yīng)，提高短路電流和開路電壓。

① 傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)電池

② SE結(jié)構(gòu)電池

激光摻雜的優(yōu)點(diǎn)：

1）僅需激光圖形化一步即可完成，工藝流程簡(jiǎn)單；

2）局部激光熱效應(yīng)，最大限度降低高溫對(duì)硅本體熱損傷；

3）激光加工過(guò)程簡(jiǎn)單、無(wú)需化學(xué)處理，無(wú)污染。